Recubridor por pulverización catódica de escritorio con objetivo de magnetrón único y alto vacío DST1-170
El recubridor por pulverización catódica de escritorio con objetivo único de magnetrón único y alto vacío DST1-170 está configurado como un recubridor por pulverización catódica de escritorio, diseñado específicamente para la preparación de muestras de microscopio electrónico de barrido (SEM). DST1-170 es versátil y capaz de depositar una amplia gama de materiales, incluidos oro (Au), aleación de platino/paladio (Pt/Pd), plata (Ag), cromo (Cr), tungsteno (W), iridio (Ir). , y más.
DST1-170 sobresale en la producción de películas uniformes y de alta calidad con tamaños de grano fino. Estas películas son ideales para muestras que exigen una caracterización de alta resolución y alta calidad, como aplicaciones FE-SEM, EDS/WDS, TEM y EBSD. Equipado con un cátodo magnetrón de 2 pulgadas y una fuente de alimentación CC conmutada de 80 vatios, el DST1-170 es adecuado para diversas aplicaciones de investigación y de película delgada.
- Lograr una deposición estructural de grano fino para la preparación de muestras SEM y FE-SEM
- Aplicaciones nano y microelectrónica
- Fabricación de células solares
- Recubrimiento de componentes ópticos.
- Revelado de sensores de película delgada
- Bomba turbomolecular de alto vacío con capacidad de 90 L/S (Leybold)
- Bomba de vacío de paletas rotativas de dos etapas que sirve como bomba previa
- Vacuómetro de rango completo (Leybold)
- Válvula de mariposa ISO-KF 63
- Fuente de alimentación CC de 80 vatios
- Monitor de espesor de cristal de cuarzo con una precisión de 1 nanómetro y una resolución de 1 Ångström
- Interfaz de pantalla táctil intuitiva para un fácil control del proceso de recubrimiento y una rápida entrada de datos
- Software fácil de usar con capacidad de actualización de red
- Funcionalidad de control para ajustar la tasa de recubrimiento para lograr estructuras de grano más fino
- Ofrece opciones de pulverización manual y automática temporizada y de espesor.
- Capacidad de pulverización GLAD (deposición en ángulo de mirada)
- Funcionalidad de limpieza de plasma
- Capacidad para registrar y trazar gráficos de parámetros de recubrimiento.
- Equipado con un obturador electrónico.
- Platinas de muestras fácilmente intercambiables, con una platina de rotación incluida como estándar
- Respaldado por una garantía de dos años
- Los productos Vac Coat están cubiertos globalmente por seguros públicos y de responsabilidad del producto, lo que garantiza protección en caso de daños a la propiedad o lesiones personales causadas por los sistemas Vac Coat.
Limpiar el vacío de la recubridora por pulverización de escritorio
La cámara de vacío está hecha de Pyrex cilíndrico. El DST1-170 está equipado con una bomba turbomolecular de 90 L/s montada internamente, soportada por una bomba de paletas rotativas de dos etapas de 4 m³/h. Esta configuración garantiza un entorno de vacío limpio, libre de la contaminación por aceite típicamente asociada con las bombas de difusión estándar.
Control de pantalla táctil
El DST1-170 cuenta con una interfaz de pantalla táctil a color de 7 pulgadas con control automático total y entrada de datos fácil de usar, lo que lo hace accesible incluso para usuarios inexpertos. Los usuarios pueden operar fácilmente el sistema a través de la pantalla táctil, donde los niveles de vacío, la corriente y la información de deposición se pueden ver como datos digitales o mostrarse como curvas. Además, el sistema puede almacenar información sobre los últimos 300 recubrimientos, a los que se puede acceder en la página del historial como referencia.
- Vacío máximo: Menos de 7 x 10^-7 Torr
- Control preciso de la tasa de pulverización catódica para lograr estructuras de grano más finas
- Control independiente de potencia de sputtering, independientemente de la presión.
- Válvula electrónica de fuga para gas Argón
- Capacidad para registrar y trazar gráficos de parámetros de recubrimiento.
- Cómoda transferencia de datos de curvas y datos del proceso de deposición a través del puerto USB a la PC
- Requisitos de energía: 220V-240V, 50/60Hz, 16A
- Peso de envío: 36 kilogramos
Opciones y accesorios:
- Cristal de cuarzo
- Rotación de muestra planetaria.
- Cámara de vidrio de repuesto
- Blancos de pulverización
- Equipo de Maritimo
