Recubridores por pulverización / Sistemas de recubrimiento al vacío - Recubridor por pulverización catódica de escritorio con objetivo de magnetrón único y alto vacío DST1-300
Recubridor por pulverización catódica de escritorio con objetivo de magnetrón único y alto vacío DST1-300
El recubridor por pulverización catódica de escritorio con un solo magnetrón y alto vacío DST1-300 es un sistema de recubrimiento versátil capaz de aplicar recubrimientos en semiconductores, dieléctricos y metales oxidantes y no oxidantes. Destaca en la producción de películas delgadas uniformes con tamaños de grano fino en un ciclo corto.
La espaciosa cámara del DST1-300, disponible con magnetrón de 2, 3 o 4 pulgadas y un cátodo refrigerado por agua, es ideal para recubrir muestras grandes con diámetros de hasta 15 cm o varias muestras más pequeñas con diámetros similares. Su tiempo de pulverización ilimitado lo hace ideal para depositar capas gruesas.
Equipado con una fuente de alimentación de CC de 600 W y una fuente de alimentación de RF opcional de 300 W con una caja de coincidencia automática, este recubridor de objetivo único ofrece flexibilidad. El sistema de alto vacío permite la deposición de una amplia gama de materiales en diversas superficies, atendiendo a aplicaciones de películas delgadas, incluida la micro y nanoelectrónica y la preparación de muestras SEM.
El Magnetron Sputter Coater modelo DST1-300 es un sistema de recubrimiento versátil capaz de aplicar recubrimientos a semiconductores, dieléctricos y metales oxidantes y no oxidantes. Destaca por producir rápidamente películas delgadas uniformes con tamaños de grano fino.
La espaciosa cámara DST1-300, disponible con opciones de magnetrón de 2, 3 o 4 pulgadas y un cátodo refrigerado por agua, es ideal para recubrir muestras grandes con diámetros de hasta 15 cm o varias muestras más pequeñas de tamaño similar.
Con un tiempo de pulverización ilimitado, es ideal para depositar capas gruesas. El recubridor de objetivo único viene equipado con una fuente de alimentación de CC de 600 W y ofrece una fuente de alimentación de RF de 300 W opcional con una caja de coincidencia automática para mayor flexibilidad.
El sistema de alto vacío puede depositar una amplia gama de materiales en diferentes superficies, lo que lo hace adecuado para aplicaciones de películas delgadas como micro y nanoelectrónica, así como para la preparación de muestras SEM.
Desk Carbon Coater DCR es un sistema compacto de recubrimiento de fibra de carbono adecuado para la preparación de muestras para su uso en microscopio electrónico de barrido (SEM), microscopio electrónico de transmisión (TEM) y análisis de rayos X (EDX).
Este dispositivo está disponible en dos formatos:
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Velocidad de bombeo |
90 l / s |
350 l / s
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Presión máxima |
7x10-6 Torr |
7×10-7 Torr
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Control de pantalla táctil con pantalla colorida
El DST1-300 cuenta con una interfaz de pantalla táctil a color de 7 pulgadas fácil de usar con control automático completo y capacidades de entrada de datos, lo que lo hace accesible incluso para usuarios inexpertos. A través de esta pantalla táctil, los usuarios pueden operar fácilmente el sistema y ver los niveles de vacío, los valores actuales y la información de deposición, ya sea como datos digitales o en forma de curvas gráficas. Además, el sistema tiene la capacidad de almacenar información relacionada con los últimos 300 recubrimientos, a la que se puede acceder cómodamente en la página del historial como referencia.
aspiradora limpia
La cámara de vacío está construida de Pyrex cilíndrico y tiene unas dimensiones de 300 mm de diámetro exterior (OD) y 200 mm de altura (H). El DST1-300 está equipado con una bomba turbomolecular de 90 l/s montada internamente, que está soportada por una bomba rotativa de dos etapas. Esta configuración garantiza un entorno de vacío limpio, libre de la contaminación por aceite comúnmente asociada con las bombas de difusión ordinarias.
Este sistema es adecuado para diversas aplicaciones, que incluyen:
- Deposición de películas metálicas, semiconductoras y dieléctricas.
- Aplicaciones nano y microelectrónica
- Fabricación de células solares.
- Recubrimiento de componentes ópticos.
- Desarrollo de sensores de película delgada.
- Producción de dispositivos magnéticos de película delgada.
- Aplicaciones en la memoria del ordenador.
- Lograr una deposición estructural de grano fino para la preparación de muestras SEM y FE-SEM
Ofrece versatilidad en una variedad de industrias y áreas de investigación.
