Recubridores por pulverización / Sistemas de recubrimiento al vacío - Recubrimiento por pulverización catódica de escritorio con triple magnetrón y alto vacío - DST3-A/S
Recubrimiento por pulverización catódica de escritorio con triple magnetrón y alto vacío - DST3-A/S
El recubridor por pulverización catódica de escritorio con triple magnetrón y alto vacío DST3-A/S es un sistema versátil de recubridor al vacío de múltiples objetivos, que presenta bombeo turbomolecular, adecuado para depositar una amplia gama de materiales. Viene con una cámara espaciosa con un diámetro de 300 mm y está equipada con tres cátodos refrigerados por agua de 2” de diámetro, lo que permite períodos de deposición prolongados.
Este recubridor por pulverización de escritorio con objetivo de triple magnetrón está bien equipado con fuentes de alimentación de RF y CC, lo que le permite pulverizar eficazmente semiconductores, dieléctricos y diversos objetivos metálicos, incluidos metales oxidantes y nobles. Para optimizar el proceso de pulverización catódica de RF, el sistema incluye una caja de coincidencia autoajustable, que minimiza la potencia reflejada.
Para mejorar la adhesión de la película al sustrato y mejorar las estructuras de la película, también existe una característica opcional que permite la aplicación de un voltaje de polarización de 300 V CC al sustrato.
Dependiendo del estado de los cátodos, el DST3 se ofrece en dos modelos distintos.
DST3-A (cátodos en ángulo):
El DST3-A presenta tres cátodos en ángulo que comparten un punto focal común. Esta configuración permite la pulverización simultánea de dos o tres objetivos (opcionales), lo que permite la formación de aleaciones o deposiciones multicapa. En este modelo, el tamaño máximo del sustrato es de 3 pulgadas.
DST3-S (Cátodos Rectos):
El modelo DST3-S está equipado con tres cátodos rectos de 2 pulgadas refrigerados por agua y está diseñado para pulverizar una sola muestra grande con un diámetro de hasta 20 cm o varias muestras más pequeñas.
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hardware:
Automatización:
Instalaciones opcionales:
La recubridora al vacío DST3 cuenta con una cámara de vacío cilíndrica de Pyrex con un diámetro exterior de 300 mm y una altura de 200 mm. Está equipado con una bomba turbomolecular de 90 L/s montada internamente, que está respaldada por una bomba de paletas rotativas de dos etapas de 6 m3/h para un funcionamiento de vacío eficiente.
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Control de pantalla táctil
El DST3 viene con un panel de pantalla táctil a color de 7”, que incluye un software fácil de usar para un control y ajuste perfectos de los datos del proceso de deposición. Puede monitorear fácilmente la información de la secuencia de recubrimiento y vacío, que se muestra como datos digitales o curvas en la pantalla táctil. Además, el sistema almacena información sobre los últimos 300 recubrimientos en la página del historial para su comodidad.
Etapas del portamuestras
El portamuestras viene en dos tamaños estándar: 3 pulgadas, que está disponible en los modelos DST3-A y DST3-S, y 8 pulgadas, exclusivo del DST3-S. Sin embargo, los usuarios tienen la flexibilidad de solicitar tamaños personalizados adaptados a sus requisitos específicos. Los portamuestras más pequeños están equipados con múltiples abrazaderas diseñadas para sujetar de forma segura muestras pequeñas durante la rotación, lo que ofrece una solución sencilla y eficaz.
Limpiador de plasma
DST3 puede equiparse opcionalmente con un limpiador de plasma. El tratamiento o limpieza con plasma implica la eliminación de sustancias orgánicas de la superficie de un sustrato o su modificación mediante gas ionizado, conocido como plasma. Este proceso puede alterar las propiedades de la superficie del sustrato, mejorando su hidrofilicidad o hidrofobicidad para facilitar las deposiciones posteriores de manera efectiva. Además, aplicar plasma al sustrato antes de depositar películas delgadas ayuda a eliminar contaminantes de la superficie, como residuos y óxidos a base de carbono, al tiempo que mejora la adhesión entre el sustrato y las capas posteriores.
| Encabezado de tabla | ||
|---|---|---|
|
Velocidad de bombeo (l/s) |
90 |
350 |
|
Presión máxima (Torr) |
8 × 10-6 |
3 × 10-6 |
